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電容式壓力傳感器工作原理與組成

發(fā)布時(shí)間:2019-11-27 08:41人氣:

電容式壓力傳感器由置于空腔內(nèi)的兩個(gè)動(dòng)片(彈性金屬膜片)、兩個(gè)定片(彈性膜片上下凹玻璃上的金屬涂層)、輸出端子和殼體等組成。其動(dòng)片與兩個(gè)定片之間形成了兩個(gè)串聯(lián)的電容。當(dāng)進(jìn)氣壓力作用于彈性膜片時(shí),彈性膜片產(chǎn)生位移,勢(shì)必與一個(gè)定片距離減小,而與另一個(gè)定片距離加大(可以通過(guò)一張紙來(lái)示范)。兩金屬電極板間距離是影響電容量的重要因素之一,距離增大,則電容量減少,距離減少,則電容量增大。這種由一個(gè)被測(cè)量量引起兩個(gè)傳感元件參數(shù)等量、相反變化的結(jié)構(gòu),稱為差動(dòng)結(jié)構(gòu)。

壓力傳感器
如果彈性膜片置于被側(cè)壓力與大氣壓之間(彈性膜片上部空腔通大氣),測(cè)得的是表壓力;如果彈性膜片置于被側(cè)壓力與真空之間(彈性膜片上部空腔通真空),測(cè)得的是絕對(duì)壓力。電容器的容量與組成的電容的兩極板間的電介質(zhì)及其相對(duì)有效面積成正比,而與兩極板間的距離成反比,即C=ε A/d,其中ε為電介質(zhì)的介電常數(shù),A為兩金屬電極板間相對(duì)有效面積,d為兩金屬電極板間距離。由這個(gè)關(guān)系式可以看出,當(dāng)其中兩個(gè)參數(shù)不變,而另一個(gè)參數(shù)作為變量時(shí),電容量就會(huì)隨著變化的參數(shù)而變化。
與電容式壓力傳感器配合使用的測(cè)量電路有很多種,下面我們來(lái)以電橋電路為例說(shuō)明電容差動(dòng)式傳感器測(cè)量電路的工作原理,由于電容是交流參數(shù),所以電橋通過(guò)變壓器用交流激勵(lì)。變壓器的兩個(gè)線圈與兩個(gè)電容組成電橋,當(dāng)無(wú)進(jìn)氣壓力時(shí),電橋處于平衡狀態(tài),兩電容值相等并且為C0,當(dāng)有壓力作用時(shí),其中一個(gè)電容值為C0+△C,另一個(gè)電容值為C0-△C,(△C為外部壓力作用時(shí)引起的電容值的變化量),則電橋失去平衡,電容值高的地方電壓也高,兩個(gè)電容之間產(chǎn)生了電壓差,由此電橋產(chǎn)生代表進(jìn)氣壓力的電壓輸出U。更多壓力傳感器文章請(qǐng)見(jiàn)http://www.nfgnbcv.cn

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