回音廊式激光傳感器是微型激光傳感器，屬于一種回音廊式共振傳感器，由硅玻璃制造。工作原理就像英國圣保羅大教堂里著名的回音廊，一邊的人對著廊壁說話，另一邊的人就能聽到。但與回音廊不同的是，這種傳感器共振的不是聲波而是光波。
       激光器由底座支起一個“頻率衰減模”(環(huán)路中激光發(fā)射的模式或形狀)，兩束激光以相同頻率、相反方向圍繞環(huán)形光路傳播。模場中有一個“短暫尾跡”透過環(huán)表面，探測著周邊環(huán)繞的介質。當一個微粒落在激光環(huán)上，就會使一個光模中的能量分散到另一個光模中，從而使兩個光模的共振頻率略有不同，使光模發(fā)生分裂，一束激光就分裂為頻率不同的兩束，將它們導入光電探測器，會由于頻率的不同而產(chǎn)生一種“打擊頻率”，從而分別測得兩束激光的頻率位移傳感器。
      “由于微型傳感激光器是用溶膠的方法在硅晶片生產(chǎn)，增益介質很容易改變，所以能大量生產(chǎn)。”論文第一作者、華盛頓大學圣路易斯分校電學與系統(tǒng)工程系研究生何麗娜(音譯)說，“人們可以選擇性地混合稀土離子，加入四乙氧基硅烷溶液、水或鹽酸，加熱它們直到變得黏稠，然后旋轉覆蓋在硅晶片上，退火后清除溶劑，就形成了完整的非結晶玻璃。再用蝕刻方法把薄薄的玻璃膜制成硅光盤，在下面用硅柱支撐。最后，通過激光退火處理，使粗糙的硅光盤變成光滑的環(huán)形共振腔。更多傳感器文章請見http://www.nfgnbcv.cn